設(shè)備故障診斷系統(tǒng)資訊：無(wú)線(xiàn)電波工業(yè)公司研制了一種可檢測(cè) ± 50Kgal的石英無(wú)線(xiàn)振動(dòng)傳感器

無(wú)線(xiàn)電產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)了以應(yīng)時(shí)晶體為傳感元件的傳感器模塊，可以頻率檢測(cè)重力、加速度、傾斜、位移等物理量的微小變化。一體化振動(dòng)變送器將壓電傳感器和精密測(cè)量電路集成在一起，實(shí)現(xiàn)了傳統(tǒng)“傳感器+信號(hào)調(diào)理器”和“傳感器+監(jiān)測(cè)儀表”模式的振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)的功能；適合構(gòu)建經(jīng)濟(jì)型高精度振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)。無(wú)線(xiàn)振動(dòng)傳感器基于無(wú)線(xiàn)技術(shù)的機(jī)器狀態(tài)監(jiān)測(cè)，具有振動(dòng)測(cè)量及溫度測(cè)量功能，操作簡(jiǎn)單，自動(dòng)指示狀態(tài)報(bào)警。應(yīng)用于工業(yè)設(shè)備狀態(tài)管理及監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)；適合現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備運(yùn)行和維護(hù)人員監(jiān)測(cè)設(shè)備狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，保證設(shè)備正常可靠運(yùn)行。振動(dòng)故障診斷監(jiān)測(cè)系統(tǒng)分析范圍20KHz；緩變信號(hào)通道不少于32路，16位精度，動(dòng)態(tài)信號(hào)通道不少于4路，102.4kS/s；系統(tǒng)變攜，可以自帶電源連續(xù)工作4小時(shí)。加速度的*大檢測(cè)范圍為50kGal，*小精度為1mGal。與原有的MEMS傳感器相比，加速度檢測(cè)范圍和精度提高了一個(gè)數(shù)量級(jí)，可以在較寬的動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)檢測(cè)加速度。適用于地震勘測(cè)、資源勘探、結(jié)構(gòu)振動(dòng)測(cè)量、測(cè)斜儀、土木測(cè)量、平衡調(diào)整\\ u002f機(jī)械和車(chē)輛速度檢測(cè)、人工觸摸、磁場(chǎng)檢測(cè)和自動(dòng)無(wú)人機(jī)械。

該模塊在安裝了溫度補(bǔ)償用恒溫槽之后的尺寸*大為W100mmD100mmH75mm。重550g。該模塊構(gòu)造方法簡(jiǎn)單，能夠可以直接影響無(wú)線(xiàn)網(wǎng)絡(luò)傳輸技術(shù)檢測(cè)分析數(shù)據(jù)，而且我們不需要將電壓轉(zhuǎn)換成頻率的裝置，因此，不論單個(gè)模塊的成本管理還是裝入測(cè)量、勘探信息系統(tǒng)后的總體設(shè)計(jì)成本問(wèn)題都得以降低。對(duì)于企業(yè)設(shè)置和拆除工作，還有一些利于減輕經(jīng)濟(jì)負(fù)擔(dān)和縮短時(shí)間。

與其他傳感器材料相比，石英晶體具有彈性好（約為硅的1600倍）、抗沖擊性好、探測(cè)范圍寬等優(yōu)點(diǎn)。 然而，由于石英晶體的機(jī)電耦合系數(shù)小于其它材料的機(jī)電耦合系數(shù)，因此對(duì)于傳感器和元件需要高度穩(wěn)定的微制造技術(shù)，并且對(duì)于檢測(cè)信號(hào)需要頻率穩(wěn)定技術(shù)。 作為石英晶體器件的綜合制造商，公司開(kāi)發(fā)的這些技術(shù)的開(kāi)發(fā)得到了進(jìn)一步的改進(jìn)。

為了檢測(cè)微小的變化，技術(shù)人員將傳感器組件做成懸臂梁的形狀，電極與自由端相對(duì)電極之間距離的變化首先轉(zhuǎn)換成靜電容量的變化，然后轉(zhuǎn)換成頻率。這種材料由***的人造石英晶體制成，這是一種 AT 切割的石英晶體振蕩器，由于溫度的變化，頻率變化很小。在樣品價(jià)格方面，溫度補(bǔ)償模塊的參考價(jià)格為每個(gè)15萬(wàn)日元。